近場掃描光學顯微鏡技術參數：
1 NSOM操作模式: 透射模式，反射模式，收集模式，照明模式
2 原子力顯微鏡AFM操作模式: 敲擊模式，接觸模式選配，所有探針或樣品掃描的AFM操作模式
3 微分干涉對比DIC : 反射和透射
4 折射率成像Refractive-Index Profiling: 反射和透射
5 在線遠場共聚焦和拉曼及熒光光譜成像: 反射和透射，針對選擇性拉曼散射超薄膜的探針增強拉曼散射
6 熱傳導及擴展電阻成像: 接觸模式，敲擊模式，音叉反饋模式無反饋激光引入干擾信號,選配；熱探針可作為納米加熱器使用，納米熱分析、納米相轉變等應用。

SPM掃描頭規格：
1 樣品掃描器：壓電材料制薄片掃描器 3D Flat Scanner™；厚度為7毫米
2 SPM掃描范圍： 樣品掃描，zui大100 microns XYZ
3 掃描分辨率： < 0.005 nm Z
< 0.015 nm XY
< 0.002 nm XY 低電壓模式
4 粗調定位范圍：6毫米
5 反饋機制：懸臂梁光束反彈反饋，音叉反饋選配
6 樣品尺寸：標準配置下,直徑zui大至16毫米；正置顯微鏡下使用,直徑zui大至34毫米 特殊樣品形狀：如豎直樣品進行邊緣成像等
7 探針：各種針尖外露的玻璃探針，各種常規懸臂梁硅探針均可使用

近場掃描光學顯微鏡成像分辨率：

1 遠場： 受光衍射幾何限制

2 光學： 500納米
3 共聚焦： 200納米
4 近場掃描光學： 100納米，條件下可達到50納米由探針孔徑決定
5 形貌： Z向噪聲0.05納米 rms；XY橫向分辨率：由針尖直徑和樣品的卷積決定
6 熱成像： 100納米起，溫度靈敏度0.01oC，300 oC或更高由樣品決定
7 電阻成像： 25納米